КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-91-24002
НазваниеСоздание базовых микро-устройств нового поколения для нужд микроэлектроники на основе одномерных полупроводниковых наноструктур
Руководитель Корепанов Виталий Игоревич, Доктор физико-математических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук , Московская обл
Конкурс №3024 - Конкурс 2024 года «Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства приборов на основе квантовых эффектов и элементов наноэлектроники и молекулярной электроники» (3024)
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-712 - Технологические процессы изготовления приборов на основе квантовых эффектов и элементов наноэлектроники и молекулярной электроники
Ключевые слова акустические резонаторы, полупроводники, микроэлектромеханические системы, пьезоэлектрические преобразователи, датчики
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
Основные ожидаемые результаты включают в себя:
1) Усовершенствованные методики получения нитрида алюминия и оксида цинка, позволяющие воспроизводимо получать поликристаллические ориентированные плёнки и массивы наностержней;
2) Методику создания акустических микрорезонаторов на основе текстурированных плёнок AlN и отдельных наностержней ZnO;
3) Методику тестирования свойств акустических микрорезонаторов;
4) Предложения по созданию конкретных компонент микросистемной техники на основе акустических микрорезонаторов, таких как пьезоэлектрический преобразователь энергии, микроэлектромеханический датчик.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ