КАРТОЧКА ПРОЕКТА ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКОЙ РАБОТЫ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 24-91-21002
НазваниеРазработка конструкции оптической зондовой станции для тестирования чипов фотонных интегральных схем
Руководитель Лунегов Игорь Владимирович, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский государственный национальный исследовательский университет" , Пермский край
Конкурс №3021 - Конкурс 2024 года «Выполнение прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства фотонных интегральных схем» (3021)
Область знания, основной код классификатора 11 - Технологическое направление «Микроэлектроника»; 11-432 - Метрологическое оборудование, комплектующие и оснастка для межоперационного контроля кристаллов и испытаний фотонных интегральных схем
Ключевые слова фотонная интегральная схема, оптический волновод, система позиционирования, техническое зрение, СВЧ-зонды, электроптическая модуляция, зондовая станция
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Ожидаемые результаты
В результате реализации технологического предложения должна быть разработана автоматизированная
электрооптическая зондовая станция, оснащенная системой технического зрения, предназначенная для тестирования
отдельных чипов фотонных интегральных схем, а также чипов ФИС, расположенных на кристаллической пластине со
следующими характеристиками:
‐ Количество оптических зондов: не менее 2.
‐ Количество электрических зондов: не менее 2.
‐ Разрешение позиционирования оптических зондов не хуже 100 нм.
‐ Возможность использования линзованных оптических волокон.
‐ Возможность использования оптических волокон с сохранением поляризации излучения.
‐ Возможность автоматической записи измеренных оптических характеристик.
‐ Возможность подачи электрического напряжения по заданной программе.
‐ Возможность работы с массивами волоконных световодов.
‐ Возможность интеграции измерительного оборудования, предусмотренная программно-аппаратной архитектурой
интерфейсов.
Программная возможность измерения базовых оптических характеристик, при дооснащении системы
соответствующим измерительным оборудованием: оптические потери, поляризационно-зависимые потери, спектр
пропускания, поляризационная экстинкция излучения.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ