КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 23-79-10294
НазваниеМетастабильные фазы в нанокомпозитах на основе металл-кремний: условия формирования, атомное и электронное строение и функциональные свойства для приложений микроэлектроники
Руководитель Буйлов Никита Сергеевич, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет" , Воронежская обл
Конкурс №85 - Конкурс 2023 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными
Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки; 09-710 - Новые материалы для наноэлектронных приборов
Ключевые слова Метастабильные фазы, соединения со структурой L12, структуры типа Cu3Au, нанокомпозиты на основе Me-Si, буферный слой, упрочнение с повышением температуры, сверхструктурное сжатие, электронно-энергетическое строение, рентгеновская спектроскопия
Код ГРНТИ29.19.00
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
Метастабильные фазы могут обладать уникальными и интересными свойствами, такими как упрочнение с увеличением температуры. Хорошим примером являются суперсплавы на основе метастабильной фазы Ni3Al, которые представляет собой передовой конструкционный материал, широко используемые в компонентах современных газотурбинных двигателей, особенно в качестве жаропрочного сплава для турбинных лопаток из-за их превосходных жаропрочных свойств. Высокая прочность и напряжение течения, проявляемые этими сплавами, проистекают из их микроструктуры γ + γ’, где матрица fcc-γ Ni упрочняется с помощью, упорядоченных по L12, включениями γ’ Ni3Al. Основной фазой для создания суперсплавов на никелевой основе послужила фаза Ni3Al, однако известны и другие интерметаллидные фазы со сверхструктурой L12, такие как Ni3Ti, Ni3Fe, Ni3Si, Co3Ta, Pt3Si, Pt3Ga и др. Данные интерметаллические соединения можно выделить в группу А3В, в которых атомы обоих компонентов занимают центры граней и вершины куба с одинаковой вероятностью.
Интересным является тот факт, что для соединений типа A3B характерно сохранение дальнего порядка вплоть до температуры плавления (Тпл). Это определяет перспективу применения соединений типа A3B в технологии изготовления стабильных контактов (с использованием классических металлов микроэлектроники: Al, Cu, Ag, Au, Ni, Pt и т.д.) с высокой степенью воспроизводимости в мощных (в том числе СВЧ) интегральных схемах и дискретных полупроводниковых приборах, вместо используемых в настоящее время тугоплавких металлов, таких, как вольфрам и силициды вольфрама. Поэтому одной из целей данного проекта является получение новых соединений Al3Si, Ag3Si, Au3Si, Cu3Si обладающих высокотемпературной прочностью, для применения для создания надежных контактов в силовых интегральных схемах, что определяет актуальность данного проекта.
Особый интерес для практического применения слоя соединений группы А3В в кремниевой микроэлектронике (в качестве буферного слоя между металлизацией и кремниевой подложкой) вызывает величина параметра их кристаллической решетки, отличающейся большим значением сверхструктурного сжатия. В частности, как это было показано в наших предыдущих работах, параметр кристаллической решетки, неизвестной ранее фазы Al3Si, соответствует значению 4,079Å-4,085Å, при значениях параметров кристаллических решеток Al - 4,050Å и Si - 5,431Å. Использование эффекта сверхструктурного сжатия в соединениях A3B может внести весомый вклад в развитие технологии создания податливых кремниевых подложек для соединений типа A3B5.
Таким образом, наличие у соединений типа A3B свойства упрочнения с увеличением температуры и эффекта сверхструктурного сжатия определяет следующую цель данного проекта - попытку создать соединение Ga3Si, являющееся перспективным для согласования параметров решеток кремния и соединений типа A3B5.
Однако многие метастабильные фазы отсутствуют на равновесных диаграммах состояния, а также в международных базах данных, даже таких как International Centre of Diffraction Data (ICDD) и NIST X-ray Photoelectron Spectroscopy Database. В результате этого возникают сложности при прогнозировании свойств нанокомпозитных материалов и выборе оптимальных технологических параметров их формирования. Кроме того, трудности в прогнозировании свойств метастабильных фаз, посредством расчетов их электронного строения, обусловлены отсутствием надежных экспериментальных данных.
Поэтому одной из важнейших и актуальных задач данного проекта является получение комплексных данных об электронном строении и транспортных свойствах метастабильных фаз типа Me3Si (где Ме = Al, Cu, Ag, Au, Ga) как прямыми экспериментальными, так и теоретическими методами. Комплексность подхода позволит получить надежные данные, верифицировать методы теоретических расчетов, используемых исследователями в данной области, а также дополнить международные базы данных информацией о новых метастабильных соединениях.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2025 году
Наноструктурированные композитные пленки на основе Me-Si, содержащие наночастицы металлов, используются в качестве материала SERS-подложек, плазмонных отражателей, наноплазмонных сенсоров, устройств нелинейной оптики, мемристорных структур и т.д. Однако при формировании таких пленок методами магнетронного или ионно-лучевого распыления, характеризующимися высокой энергией распыляемых частиц, могут формироваться метастабильные соединения, в частности соединения типа Me3Si. При этом содержание этих фаз в пленках Me-Si может быть настолько существенным, что ключевые свойства данных нанокомпозитов будут определяться этими метастабильными фазами. С другой стороны сами метастабильные фазы типа Me3Si могут обладать уникальными свойствами. Поэтому данный проект направлен на технологических условий формирования метстабильных соединений типа Me3Si и изучение их электронного строения и функциональных свойств. В ходе реализации данного этапа Проекта была получена серия образцов тонкопленочных структур на основе Me-Si (металл Me = Cu, Ag, Al, W, Nb, Mo, V, Ta, Ti). В результате комплексных исследований получены новые экспериментальные данные об электронно-энергетическом строении валентной зоны соединения Cu3Si. Впервые был проведен теоретический расчет VB-DOS для фазы η-Cu¬3Si (P-3m1). Установлено, что в элементарной ячейке фазы η-Cu¬3Si (P-3m1) существует четыре неэквивалентных атома меди, с различной парциальной VB-DOS. При для атомов кремния и меди, расположенных на наименьшем расстоянии 2.3413 Å от атомов кремния, наблюдается резонансный характер взаимодействия d-электронов Cu и s -электронов Si. Данный эффект носит название d-s,p-резонанс и ранее наблюдался в соединениях переходных металлов и s,p-элементов, например, Cu3P, Cu2Se, Cu2Te и Cu2S. Теоретически рассчитанный рентгеновский эмиссионный Si L2.3-спектр фазы η-Cu¬3Si (P-3m1) имеет лучшее согласие с экспериментальными спектрами, полученными в данной работе и в работе Z. An (2002), чем спектр фазы η’-Cu¬3Si (R-3). Хорошее согласие теоретических и экспериментальных рентгеновских эмиссионных Si L2.3-спектров для фазы η-Cu¬3Si (P-3m1) подтверждает предположение о том, что в тонких пленках на основе Cu-Si преимущественно формируется фаза η-Cu¬3Si (P-3m1). В то же время, согласно данным USXES пленки CuxSi1-x являются композитными и содержат в своем составе фазы Cu3Si, a-Si и SiOx (при этом наблюдается несколько фаз субоксидов кремния SiO0.47, SiO0.8, SiO1.3, SiO1.7 и SiO2). При этом с ростом содержания фазы Cu3Si от 10 до 60 % приводит к увеличению среднего «x» in SiOx от 0,47 до 2, что согласуется с информацией о каталитическом воздействии фазы η-Cu3Si на окисление кремния. В случае пленок AgxSi1-x на основе данных УМРЭС и теоретических DFT расчетов подтвердили наличие в пленках AgxSi1-x также регистрируется формирование фазы Ag2Si (Cmcm, 63), содержание которой увеличивается от 10 до 30% (от общего количества атомов кремния) при изменении атомного состава от Ag80Si20 до Ag55Si45. При этом в DOS наблюдается резонансный характер взаимодействия d-электронов Ag и s,p-электронов Si. Данный результат получен впервые.
Публикации
1. Керсновский Е.С., Барков К.А., Польшин И.В., Терехов В.А., Ивков С.А., Чукавин А.И., Буйлов Н.С., Ситников А.В. Investignation of the effect of copper content on the atomic and electronic structure of Cu-Si ion beam films by USXES and XPS methods III International Conference Synchrotron Radiation Techniques for Catalysts and Functional Materials. Abstracts. Tomsk, 2024, p. 172., III International Conference Synchrotron Radiation Techniques for Catalysts and Functional Materials. Abstracts. Tomsk, 2024, p. 172. (год публикации - 2024)
2. Польшин И.В., Барков К.А., Керсновский Е.С., Терехов В.А., Нестеров Д.Н., Ивков С.А., . Ситников А.В. Исследование нанокомпозитных пленок Cu-Si, полученных ионно-лучевым распылением, методами рентгеноструктурного анализа Молодежная школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2024), сборник тезисов докладов, Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, 11 - 15 марта 2024 года, Гатчина., 124с. – с.81., Молодежная школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2024), сборник тезисов докладов, Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, 11 - 15 марта 2024 года, Гатчина., 124с. – с.81. (год публикации - 2024)
3. Барков К.А., Терехов В.А., Ивков С.А., Нестеров Д.Н., Курганский С.И., Радина В.Р., Ситников А.В. Анализ фазового состава поверхности пленок Al-Si по ультрамягким рентгеновским эмиссионным спектрам при возбуждении электронным пучком Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с., Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с. (год публикации - 2024)
4. К.А. Барков, И.В. Польшин, С.А. Ивков, Я.А. Пешков, С.Ю. Хыдырова, К.М. Моисеев, Е.С. Керсновский, И.Е. Занин, А.К. Пелагина, Н.С. Буйлов, Tran Van Tu, А.Е. Никонов, А.В. Ситников Анализ фазового состава аморфной пленки Mo-Si, полученной ионно-лучевым распылением по данным УМРЭС и рентгеновской рефлектометрии Конденсированный среды и межфазные границы, Конденсированный среды и межфазные границы, №2, 2026 (год публикации - 2026)
5. .А. Лутченко, Е.Д. Астрединова, Е.С. Керсновский, И.В. Польшин, С.А. Ивков, А.Е. Никонов, А.В. Ситников, К.А. Барков Анализ структуры и фазовый состав пленок Al-Si, полученных ионно-лучевым распылением XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия., XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия. (год публикации - 2025)
6. .Д. Астрединова, А.А. Лутченко, А.А. Скиданов, Е.А. Царёва, Е.С. Керсновский, И.В. Польшин, Я.А. Пешков, К.А. Барков Анализ структуры и фазового состава монокристаллического кремния при термомиграции XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия., XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия. (год публикации - 2025)
7. И.В. Польшин, Е.С. Керсновский, С.А. Ивков, А.Е. Никонов, А.В. Ситников, К.А. Барков Анализ особенностей ионно-лучевых пленок Cu-Si методом рентгеновской дифракции XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия., XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия. (год публикации - 2025)
8. Е.С. Керсновский, И.В. Польшин, С.А. Ивков, А.И. Чукавин, Н.С. Буйлов, А.Е. Никонов, А.В. Ситников, К.А. Барков Исследование особенностей формирования субоксидов кремния в ионно-лучевых пленках CuxSi1-x рентгеноспектральными методами анализа XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия., XXXII Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов-2025». Секция «Физика». 11-25 Апреля 2025. МГУ, Москва, Россия. (год публикации - 2025)
9. Е.С. Керсновский, И.В. Польшин, С.А. Ивков, А.И. Чукавин, Н.С. Буйлов, А.В. Ситников, К.А. Барков Исследование электронного строения ионно-лучевых пленок CuxSi1-x методами РФЭС и УМРЭС Молодежная Школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2025). 24-28 Марта 2025. Рощино, Выборгский район, Ленинградская область, Россия. , Молодежная Школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2025). 24-28 Марта 2025. Рощино, Выборгский район, Ленинградская область, Россия. (год публикации - 2025)
10.
Барков К.А., Терехов В.А., Керсновский Е.С., Польшин И.В., Ивков С.А., Чукавин А.И., Родивилов С.В., Буйлов Н.С., Нестеров Д.Н., Побединский В.В., Пелагина А.К., Моисеев К.М., Никонов А.Е., Ситников А.В.
Влияние содержания меди на формирование фаз субоксидов кремния в пленках Cu-Si, полученных ионно-лучевым распылением
Journal of Surface Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. Supplement., Journal of Surface Investigation. X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. Supplement, V. 18, 2024. (год публикации - 2025)
10.1134/S1027451025700296
11. Хыдырова С. Ю., Барков К. А., Нестеров Д. Н. , Терехов В. А. , Ивков С. А. , Керсновский Е. С., Польшин И. В., Новолокина Н. В., Моисеев К. М. Атомное и электронное строение сверхпроводящих пленок W-Si и Nb-Si Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVIII Международного симпозиума (11–15 марта 2024 г., Нижний Новгород) В 2 томах. Том 1-й. — Нижний Новгород : ИПФ РАН, 2024. — 560 с. , Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVIII Международного симпозиума (11–15 марта 2024 г., Нижний Новгород) В 2 томах. Том 1-й. — Нижний Новгород : ИПФ РАН, 2024. — 560 с. (год публикации - 2024)
12. Высочкина С.И., Керсновский Е.С. , Польшин И.В. , Барков К.А. Фомирование наночастиц Ag2S в нанокомпозитных пленках Ag-SiOx, полученных ионно-лучевым распылением Сборник трудов XXXV Всероссийской школы-семинара «Волновые явления: физика и применения» имени профессора А. П. Сухорукова («Волны-2024»), 26–31 мая 2024 года / под общ. ред. А. Н. Калиша. — Москва : Издательство Московского университета, 2024. — 394,с., Сборник трудов XXXV Всероссийской школы-семинара «Волновые явления: физика и применения» имени профессора А. П. Сухорукова («Волны-2024»), 26–31 мая 2024 года / под общ. ред. А. Н. Калиша. — Москва : Издательство Московского университета, 2024. — 394,с. (год публикации - 2024)
13. Бабаков В.В., Барков К.А., Терехов В.А., Ивков С.А., Нестеров Д.Н. Формирование наночастиц Ag в пленках Ag-Si, полученных ионно-лучевым распылением Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с., Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
14. Польщин И.В., Барков К.А., Керсновский Е.С., Терехов В.А., Ивков С.А., Буйлов Н.С., Ситников А.В. Исследование влияния содержания меди на структуру и фазовый состав пленок Cu-Si, полученных методом ионно-лучевого распыления Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с., Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
15. Керсновский Е.С., Польшин И.В., Барков К.А., Нестеров Д.Н, Ивков С. А Анализ электронного строения и фазового состава ионно-лучевых пленок Cu-Si XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с., XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с. (год публикации - 2024)
16. Польшин И.В., Барков К.А., Керсновский Е.С., Терехов В.А., Нестеров Д.Н., Ивков С.А., Ситников А.В. Исследование структуры нанокомпозитных пленок Cu-Si, полученных ионно-лучевым распылением XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с., XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с. (год публикации - 2024)
17. Бабаков В.В., Барков К.А., Терехов В.А. , Ивков С.А., Нестеров Д.Н. Формирование наночастиц Ag в пленках Ag-Si, полученных ионно-лучевым распылением XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с., XXXI Международная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов—2024». Секция «Физика». Сборник тезисов. — М. Физический факультет МГУ, 2024, 1052 с. (год публикации - 2024)
18. Польшин И.В., Барков К.А., Керсновский Е.С., Терехов В.А., Нестеров Д.Н., Ивков С.А., Ситников А.В. Особенности формирования пленок CuxSi1-x при распылении составной мишени Cu-Si ионным пучком Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с., Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с. (год публикации - 2024)
19. Керсновский Е.С., Польшин И.В., Буйлов Н.С., Родивилов С.В., Побединский В.В., Ивков С.А., Барков К.А. Использование ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии для диагностики нанокомпозитных пленок Cu-Si с высоким содержанием аморфного кремния СТЭК-В. – 2024. - №1. – С.66-70. , СТЭК-В. – 2024. - №1. – С.66-70. (год публикации - 2024)
20. Барков К. А., Терехов В. А., Домашевская Э. П. , Курганский С. И. , Ивков С. А., Радина В. Р., Ситников А. В. Анализ электронного строения ионно-лучевых пленок Al-Si методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2024). Материалы X Всероссийской конференции с международным участием, посвященной 190-летию со дня рождения Д.И. Менделеева. Воронеж, 2024, 458 с. , Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2024). Материалы X Всероссийской конференции с международным участием, посвященной 190-летию со дня рождения Д.И. Менделеева. Воронеж, 2024, 458 с. (год публикации - 2024)
21. Керсновский Е.С., Барков К.А., Польшин И.В., Нестеров Д.Н., Ивков С.А., Терехов В.А., Ситников А.В. Диагностика атомного и электронного строения ионно-лучевых пленок Cu-Si методами рентгеновской и рентгеноэлектронной спектроскопии Молодежная школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2024), сборник тезисов докладов, Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, 11 - 15 марта 2024 года, Гатчина., 124с. – с.49., Молодежная школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2024), сборник тезисов докладов, Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, 11 - 15 марта 2024 года, Гатчина., 124с. – с.49. (год публикации - 2024)
22. Керсновский Е.С., Польшин И.В., Барков К.А., Буйлов Н.С. Исследование зависимости фазообразования и электрофизических свойств ионно-лучевых пленок Cu-Si от относительного содержания меди СТЭК-В. – 2024. – Превью. – С. 28-33., СТЭК-В. – 2024. – Превью. – С. 28-33. (год публикации - 2024)
23. Барков К.А., Терехов В.А., Ивков С.А., Домашевская Э.П., Курганский С.И., Моисеев К.М., Хыдырова С.Ю., Радина В.Р., Керсновский Е.С., Польшин И.В., Нестеров Д.Н., Буйлов Н.С., Ситников А.В. Формирование метастабильной фазы Al3Si в пленках Al-Si, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с., Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
24. Высочкина С.И., Барков К.А., Власов Ю.Н., Терехов В.А., Ивков С.А., Буйлов Н.С., Пелагина А.К., Керсновский Е.С., Польшин И.В. Формирование наночастиц Ag2S в нанокомпозитных пленках Ag-SiOx, полученных ионно-лучевым распылением Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. , Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
25. Коржова Т.А., Барков К.А., Терехов В.А., Хыдырова С., Моисеев К.М., Ивков С.А., Керсновский Е.С., Польшин И.В., Новолокина Н.В. Исследование фазового состава и электрических свойств пленок Nb-Si, полученных методом магнетронного распыления Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. , Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
26. Хыдырова С.Ю., Барков К.А., Терехов В.А., Моисеев К.М., Ивков С.А., Керсновский Е.С., Польшин И.В., Новолокина Н.В., Коржова Т.А. Влияние доли ниобия на фазовый состав и электрические свойства пленок Nb-Si, полученных магнетронным распылением Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с., Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
27. Коржова Т.А., Барков К.А., Терехов В.А., Хыдырова С.Ю., Моисеев К.М., Ивков С.А., Керсновский Е.С., Польшин И.В. Исследование фазового состава и электрических свойств пленок Nb-Si, полученных методом магнетронного распыления Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2024). Материалы X Всероссийской конференции с международным участием, посвященной 190-летию со дня рождения Д.И. Менделеева. Воронеж, 2024, 458 с, Физико-химические процессы в конденсированных средах и на межфазных границах (ФАГРАН-2024). Материалы X Всероссийской конференции с международным участием, посвященной 190-летию со дня рождения Д.И. Менделеева. Воронеж, 2024, 458 с (год публикации - 2024)
28. Керсновский Е.С., Барков К.А., Польшин И.В., Терехов В.А., Ивков С.А., Чукавин А.И., Ситников А.В. Исследование атомного и электронного строения нанокомпозитных пленок Cu-Si методами рентгеновской и рентгеноэлектронной спектроскопии XI Национальная кристаллохимическая конференция. В книге: Тезисы докладов XI Национальной кристаллохимической конференции, , XI Национальная кристаллохимическая конференция. В книге: Тезисы докладов XI Национальной кристаллохимической конференции, 2024, 332 с. (год публикации - 2024)
29. Барков К. А., Терехов В.А., Домашевская Э.П., Курганский С.И., Ивков С.А., Нестеров Д.Н., Радина В.Р., Ситников А.В. Формирование метастабильной фазы Al3Si в магнетронных и ионно-лучевых пленках Al-Si Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний–2024»: (Иркутск, 15–20 июля 2024 г.). – Иркутск: Изд-во Института географии им. В.Б. Сочавы СО РАН, 2024. – 123 с. , Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний–2024»: (Иркутск, 15–20 июля 2024 г.). – Иркутск: Изд-во Института географии им. В.Б. Сочавы СО РАН, 2024. – 123 с. (год публикации - 2024)
30. Керсновский Е.С., Барков К.А., Польшин И.В., Нестеров Д.Н., Ивков С.А., Терехов В.А., Ситников А. В. Анализ электронного строения поверхностных слоев пленок Cu-Si методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии при возбуждении спектра электронным пучком Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с. , Тезисы докладов 53-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. проф. Н.Г. Чеченина. - М.: «КДУ», 2024.- 194 с. (год публикации - 2024)
31. Керсновский Е.С., Барков К.А., Польшин И.В., Терехов В.А., Ивков С.А., Чукавин А.И., Буйлов Н.С., Ситников А.В. Исследование электронного строения и фазового состава пленок Cu-Si, полученных ионно-лучевым распылением методами УМРЭС и РФЭС Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с., Высокоточная диагностика функциональных материалов: лабораторные и синхротронные исследования. Сборник тезисов IV Всероссийской молодежной конференции. Воронеж, 2024, 242 с. (год публикации - 2024)
32.
К.А. Барков, В.В. Бабаков, Г.П. Потуданский, С.А. Ивков, Я.А. Пешков, И.В. Польшин, Е.С. Керсновский, С.Ю. Хыдырова, К.М. Моисеев, И.Е. Занин, А.К. Пелагина, Н.С. Буйлов, Tran Van Tu, А.Е. Никонов, А.В. Ситников
О формировании метастабильной фазы Ag2Si в пленке Ag-Si, полученной ионно-лучевым распылением
Конденсированный среды и межфазные границы, Конденсированный среды и межфазные границы, №1, 2026 (год публикации - 2026)
10.17308/kcmf.2026.28/13555
33. И.В. Польшин, Е.С. Керсновский, С.А. Ивков, А.И. Чукавин, А.Е. Никонов, А.В. Ситников, К.А. Барков Анализ фазового состава и электрических свойств пленок Cu-Si, полученных методами ионно-лучевого распыления Молодежная Школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2025). 24-28 Марта 2025. Рощино, Выборгский район, Ленинградская область, Россия. , Молодежная Школа по физике конденсированного состояния (Школа ФКС-2025). 24-28 Марта 2025. Рощино, Выборгский район, Ленинградская область, Россия. (год публикации - 2025)