КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер проекта 22-72-10124
НазваниеВан-дер-ваальсовый рост слоистых селенидов металлов на поверхности селенида висмута с контролируемой морфологией
Руководитель Рогило Дмитрий Игоревич, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук , Новосибирская обл
Конкурс №71 - Конкурс 2022 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными
Область знания, основной код классификатора 02 - Физика и науки о космосе; 02-203 - Поверхность и тонкие пленки
Ключевые слова двумерные материалы, халькогениды металлов, ван-дер-Ваальсовая эпитаксия, поверхность, in situ отражательная электронная микроскопия, высокоразрешающая электронная микроскопия, фотоэмиссионная спектроскопия, расчёты методом теории функционала плотности
Код ГРНТИ29.19.16
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
Проект направлен на изучение закономерностей роста двумерных (2D) ван-дер-ваальсовых (ВДВ) гетеросистем на основе халькогенидов металлов (Bi2Se3/SnSe2, In2Se3/SnSe2 или других) с использованием in situ отражательной электронной микроскопии (ОЭМ) для прямой визуализации процесса зарождения и роста в условиях контроля вариации морфологии поверхности подложки от высокой плотности атомных ступеней (вицинальная поверхность) до их полного отсутствия (атомно-гладкая поверхность). Предполагается, что это позволит выявить механизм сложной самоорганизации первого ВДВ слоя при гетероэпитаксии, который включает вращение (twist) 2D ВДВ островков относительно подложки на стадии их зарождения, обеспечивающее высокую плотность структурных дефектов в растущем слое. In situ исследования роста ВДВ гетероструктур будут сопровождаться ex situ ВРЭМ анализом атомной структуры (включая картин муара, возникающих за счет вращения 2D ВДВ островков), морфологии ростовой поверхности, ab initio расчётами адсорбции и диффузии по поверхности халькогенидов металлов, изучением зонной структуры методами фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением и электрофизических свойств и возникающих в них фотогальванических эффектов в интервале температур 20 мК – 300 К и в магнитных полях до 12 Тл.
Халькогениды металлов являются слоистыми материалами, характеризующимися сильной связью внутри 2D слоя и слабой ван-дер-ваальсовой — между 2D слоями, что обеспечивает возможность их выращивания на подложках с большим рассогласованием и, в перспективе, совмещение с кремниевой технологией. Как и все ВДВ материалы, они являются основой создания отдельных (freestanding) предельно тонких молекулярных слоёв по аналогии с графеном и получения гибридных структур с вращением при их наложении друг на друга. Двумерные аналоги халькогенидов металлов, как графен и их гибриды, открывают совершенно новые возможности для наноэлектроники, спинтроники и фотоники. За последние два-три года вместе с обнаружением вариации электронной структуры 2D ВДВ гетероструктур при искусственном вращении 2D слоев относительно друг друга возникло новое направление — твистроника, возможности которой являются предметом пристального изучения, что отражается в публикациях в высокорейтинговых журналах:
1. Samajdar, R. et al. Electric-field-tunable electronic nematic order in twisted double-bilayer graphene. 2D Mater. 8, 034005 (2021).
2. Yang, Y. et al. In situ manipulation of van der Waals heterostructures for twistronics. Sci. Adv. 6, eabd3655 (2020).
3. Li, J., Ding, Y., Zhang, D. W. & Zhou, P. Photodetectors Based on Two-Dimensional Materials and Their van der Waals Heterostructures. Acta Physico-Chimica Sin. 35, 1058–1077 (2019).
4. Vishwanath, S., Dang, P. & Xing, H. G. Challenges and Opportunities in Molecular Beam Epitaxy Growth of 2D Crystals. in Molecular Beam Epitaxy 443–485 (Elsevier, 2018). doi:10.1016/B978-0-12-812136-8.00017-7
5. Bhimanapati, G. R. et al. Recent Advances in Two-Dimensional Materials beyond Graphene. ACS Nano 9, 11509–11539 (2015).
В настоящее время 2D ВДВ слои халькогенидов металлов с высоким совершенством структуры и однородностью по толщине получают только путём их отщепления от массивных кристаллов [Z. Yang, J. Hao. Recent Progress in 2D Layered III–VI Semiconductors and their Heterostructures for Optoelectronic Device Applications // Adv. Mater. Technol. 4 (2019) 1900108; Xiao Huang, et al., Metal dichalcogenide nanosheets: preparation, properties and applications // Chem. Soc. Rev. 42 (2013) 1934]. Однако их максимальные латеральные размеры пока не превышают нескольких миллиметров. В то же время ван-дер-ваальсовые гетероструктуры характеризуются очень высокой плотностью дефектов [H.D. Li et al. The van der Waals epitaxy of Bi2Se3 on the vicinal Si(111) surface: an approach for preparing high-quality thin films of a topological insulator // New J. Phys. v. 12, p. 103038 (2010)], что не позволяет отщеплять слои большой площади. Основными причинами возникновения большой плотности ростовых дефектов в ВДВ гетероструктурах являются, срастание островков с рассогласованной ориентацией (за счет их вращения), формирование двойниковых дефектов и изменение порядка чередования молекулярных слоёв в 2D островках [S. Vishwanath, et al., Controllable growth of layered selenide and telluride heterostructures and superlattices using molecular beam epitaxy // J. Mater. Res., v. 31, p. 900 (2016)]. Это делает фундаментальную проблему получения бездефектных атомно-гладких ван-дер-ваальсовых плёнок исключительно актуальной для создания как искусственных гибридных 2D ВДВ, так и эпитаксиальных ВДВ гетероструктур [F. Wang et al. 2D Metal Chalcogenides for IR Photodetection // Small 15 (2019) 1901347].
Проблема высокой плотности структурных дефектов ВДВ слоёв тесно связана также с возникающими в процессе роста неоднородностями фазового состава (полиморфизм), которые в значительной степени определяют вариации их электрофизических и оптических свойства [T. Ginley et al. Topological Insulator Film Growth by Molecular Beam Epitaxy: A Review // Crystals 6 (2016) 154]. Для формирования ВДВ структур с низкой концентрацией дефектов и высокой однородностью по составу и толщине слоев критически важны начальные стадии зарождения 2D островков до формирования сплошного слоя [G. Fiori, et al., Electronics based on two-dimensional materials // Nature Nanotechnol. 9 (2014) 768]. Однако для получения полной и достоверной информации о начальных стадиях роста необходимо применение методов in situ микроскопии непосредственно в процессе зарождения и роста новой фазы. В настоящее время такие исследования практически отсутствуют, а основными экспериментальными методами являются атомно-силовая и сканирующая туннельная микроскопия по окончании роста структуры, а также in situ и ex situ интегральные методы дифракции быстрых электронов на отражение, медленных электронов, рентгеновского излучения, комбинационного рассеяния света и других.
Управление полиморфизмом халькогенидов металлов (In2Se3, Sb2Te3 и других) — порядком чередования их молекулярных слоёв в элементарной ячейке является сложной задачей [Z. Du et al. Conversion of non-van der Waals solids to 2D transition-metal chalcogenides // Nature 577 (2020) 492, L. Liu et al. Atomically Resolving Polymorphs and Crystal Structures of In2Se3 // Chem. Mater. 31 (2019) 10143, C. Peng et al. Performance improvement of Sb2Te3 phase change material by Al doping // Appl. Surf. Sci. 257 (2011) 10667]. Из ранних работ следует, что возникновение кристаллической фазы слоистого In2Se3 связано главным образом с температурой его синтеза [C. Julien et al. Electrical transport properties of In2Se3 // Phys. status solidi 88 (1985) 687]. Однако сейчас уже установлено, что в процессе роста каждой из фаз селенида индия чередование молекулярных слоёв может происходить путем изменения свойств атомной симметрии (1T, 2H, 3T) [L. Liu et al. Atomically Resolving Polymorphs and Crystal Structures of In2Se3 // Chem. Mater. 31 (2019) 10143]. Принято считать, что для синтеза полиморфных вариантов селенида индия следует использовать разные подложки и положение подложек в реакторе (при росте методом химической газофазной эпитаксии). Однако, атомистические причины формирования того или иного варианта чередования молекулярных слоёв пока остаются неизвестными, и изучение механизма их самоорганизации и влияния морфологии поверхности подложки на процессы 2D зарождения является чрезвычайно актуальным для развития технологии выращивания 2D ВДВ гетероструктур.
Ключевым и абсолютно новым решением проблемы высокой плотности дефектов при выращивании 2D ВДВ гетеросистем, предложенным в Проекте, является использование in situ отражательной электронной микроскопии для визуализации процесса роста в условиях контроля морфологии поверхности подложки (создания экстремально широких (до ~200 мкм) атомно-гладких террас либо регулярно распределённых атомных ступеней). Предполагается, что наличие ступеней будет обеспечивать подавление/уменьшение вращения 2D островков на стадии формирования первого сплошного слоя и приведет к уменьшению плотности структурных дефектов в ВДВ гетерослоях. Это определяет новизну Проекта и его уровень, превосходящий мировой. Предполагается, что сочетание управления морфологией поверхности подложки Bi2Se3 и параметрами роста с применением in situ отражательной электронной микроскопии в процессе эксперимента и ex situ высокоразрешающей электронной микроскопии (ВРЭМ) позволит детально исследовать взаимосвязь механизма и условий роста первого ВДВ слоя с появлением/подавлением вращения 2D ВДВ островков на стадии зарождения первого слоя, порядком чередования молекулярных слоёв и конечным структурным совершенством плёнки слоистого халькогенида металла (In2Se3 или другого). Решение проблем, сформулированных в рамках данного Проекта, является необходимым условием снижения концентрации ростовых дефектов и оптимизации технологии молекулярно-лучевой эпитаксии гетероструктур на основе In2Se3 в частности и выращивания ван-дер-ваальсовых гетеросистем в целом.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2025 году
Методом in situ ОЭМ изучены начальные стадии роста пленки SnSe2 (толщиной около 0,4 нм) при температуре 250°С. Методом АСМ показано образование на поверхности одинаково ориентированных 2D островков SnSe2 треугольной формы c высотой слоя 0,6 нм. Показано, что использованная методика роста SnSe2 на поверхности Bi2Se3(0001) приводит к формированию эпитаксиальной плёнки с высоким структурным совершенством. Для данного образца с использованием зонда Кельвина проведён анализ распределения электростатического потенциала на поверхности – отличие областей, покрытых 2D островками SnSe2 и исходной поверхности Bi2Se3(0001) составило около 0,015 эВ.
В колонне in situ отражательного электронного микроскопа проведены эксперименты, направленные на изучение особенностей роста пленки SnSe2 путём кристаллизации аморфного слоя. Аморфный слой SnSe2 осаждался при комнатной температуре, с последующим ростом около 30 нм при температуре 250°С. После этого на поверхность SnSe2 проводилось осаждение аморфного слоя (около 1 нм) In2Se3 с последующей его кристаллизацией. Спектры КРС выявили набор колебательных мод, характерных фазе 1T-SnSe2. Концентрация выходов дислокаций с винтовой компонентой на поверхность составила ~ 1 *10^8 см-2
Методом in situ ОЭМ получена дополнительная информация о стадиях высокотемпературной адсорбции индия с одновременным осаждением молекулярного пучка селена. Обнаружено, что при осаждении около 1 МС индия происходит изменение формы ступеней с прямой на зигзагообразную. При осаждении около 2 МС индия происходит образование бортика вдоль края ступеней со стороны вышележащей террасы высотой 0,4 нм. Методом СЭМ с использованием детектора обратно-рассеянных электронов обнаружены области тёмного контраста вдоль ступеней Bi2Se3, соответствующих повышенной концентрация индия. При этом области обнаруженного методом АСМ бортика высотой 0,4 нм, визуализируются на СЭМ-изображении и также соответствуют областям с повышенной концентрацией индия, что свидетельствует о его интеркаляции в ван-дер-ваальсовую щель с последующим замещением атомов висмута
Экспериментально исследованы процессы, происходящие на атомарно-чистой поверхности Bi2Se3(0001) при осаждении 1 монослоя олова при комнатной температуре с последующим отжигом при температуре 210 °C методом in situ фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Методом ex situ сканирующей электронной микроскопии с использованием детектора вторичных электронов (SE-детектор) и детектора обратно рассеянных электронов (HA-детектор), чувствительного к атомному номеру элемента (Z-контраст) исследована морфология поверхности и неоднородность элементного состава поверхности. С целью определения взаимного расположения фаз SnSe2, SnSe, Bi2Se3 и бислоев Bi(111) использован метод атомно-силовой микроскопии в полуконтактном режиме в атмосферных условиях. Показано, что в процессе осаждения Sn атомы висмута приповерхностного слоя Bi2Se3 замещаются атомами олова и образуют кластеры висмута на поверхности образца. Методом СЭМ визуализирована лабиринтообразная структура таких образцов, показано, что в процессе отжига при 210 °C бислой Bi(111) образуется непосредственно над областями внедрения атомов олова. Доказано, что атомы олова замещают атомы висмута не только в самом верхнем металлическом слое Bi2Se3, но и во втором слое пятислойного блока Bi2Se3, что приводит к образованию при отжиге соединений SnSe2 и SnSe в равных пропорциях, которые образуют атомные ступени высотой 1,2 нм.
С использованием оптической литографии и сканирующей электронной микроскопии проведена разработка методов измерения контактного сопротивления с радиальной геометрией контактов и методов корректного расчёта напряжённости электрического поля и дрейфовой скорости. Методы испытаны на структурах InGaAs/GaAs и In2Se3/SnSe2/Bi2Se3. Показано, что разработанные методы позволяют корректно учитывать реальные геометрические размеры образца. Сопротивление плёнки In2Se3, выращенной на поверхности структуры SnSe2/Bi2Se3, оказалось выше предела измерений использованного оборудования, что указывает на достаточно высокое структурное совершенство и плёнки In2Se3, и плёнки SnSe2, служащей в качестве виртуальной подложки, изолирующей селенид индия от высокопроводящего Bi2Se3.
С использованием расчётов из первых принципов исследована возможность замещения атомом индия приповерхностных атомов подложки селенида висмута. Рассмотрены возможные позиции замещения и внедрения атомов индия в подложку селенида висмута. Установлено, что позиция замещения атома висмута атомом индия является выгодной. Рассчитанные междоузельные позиции и позиции внедрения в ван-дер-Ваальсову щель остаются невыгодными по сравнению с позициями на поверхностью в диапазоне от 0.5–1 эВ. Сформированы фазы селенидов индия и висмута, которые могут образовываться в in situ экспериментах по адсорбции индия, а также полиморфы для бета-фазы селенида индия на подложке селенида висмута.
Для полученных фаз и полиморфов селенида индия, такие как InSe, Bi2Se4, InBiSe3 и In2Se3 на поверхности селенида висмута рассчитаны зарядовые состояния методом Бейдера. Определение атома методом Бейдера основано исключительно на плотности электронного заряда. Вблизи атомов замещения фазы InBiSe3 рассмотрена разность зарядовых плотностей. Выявлено, что в системе InBiSe3 на поверхности селенида висмута от монослоя индия зарядовый перенос к атомам селена первого и третьего слоя равен 0.95e, при этом последующие слои два монослоя висмута отдают соседним атомам селена на 0.05e больше, чем в чистой подложке селенида висмута. Установлено, что вблизи монослоя индия заряд перераспределяется так, что на атомах селена концентрируется часть уходящего от индия заряда, а остальная часть заряда распределена вдоль индиевого слоя. Что касается фаз InSe и Bi2Se4, в них четвертые от поверхности монослои атомов висмута отдают окружающим атомам селена на 0.04e меньше, чем вторые от поверхности монослои атомов висмута или индия. При этом и поверхностные атомы селена, образующие фазу Bi2Se4 забирают примерно на 0.1e меньше, чем те, которые образуют фазу InSe.
Для поверхностей Bi2Se3 и In2Se3 рассчитаны энергии адсорбции адатомов Bi и In, энергетические профили вдоль диффузионных путей, проведены оценки длин диффузии и температур активации поверхностной диффузии.
Рассчитанные энергии формирования фаз селенидов индия и висмута, а также островков селенида индия в комбинации с данными, полученными методами in situ экспериментов ОЭМ и ФЭСУР и ex situ диагностики СЭМ, АСМ и КРС, позволяют впервые в мире сформулировать реалистичную модель эпитаксиального роста халькогенидов металла на примере системы In2Se3/Bi2Se3.
Публикации
1.
Пономарев С.А., Рогило Д.И., Захожев К.Е., Насимов Д.А., Курусь Н.Н., Гутаковский А.К., Кох К.А., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В.
In situ reflection electron microscopy for the surface processes analysis during sublimation and epitaxial growth of layered metal chalcogenides
Modern Electronic Materials , т. 10, №4, с. 251-261 (год публикации - 2024)
10.3897/j.moem.10.4.144317
2. Рябищенкова А.Г., Рогило Д.И., Кузнецов В.М., Щеглов Д.В., Латышев А.В. Adsorption and Diffusion of In and Bi adatoms on (0001) surfaces of β-phase In2Se3 and Bi2Se3 2025 IEEE 26th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM) (год публикации - 2025)
3. Захожев К.Е., Пономарев С.А., Голяшов В.А., Насимов Д.А., Кох К.А., Рогило Д.И. Structural Transformation of Bi2Se3(0001) Surface during Sn Monolayer Annealing 2025 IEEE 26th International Conference of Young Professionals in Electron Devices and Materials (EDM) (год публикации - 2025)
4. Пономарев С.А., Рогило Д.И., Курусь Н.Н., Голяшов В.А., Миронов А.Ю., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В. Hysteresis β⇔β' phase transition in the In2Se3 film 22nd European Molecular Beam Epitaxy Workshop (год публикации - 2025)
5. Пономарев С.А., Рогило Д. И., Голяшов В.А., Курусь Н.Н., Миронов А.Ю., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В. Гистерезис низкотемпературного фазового перехода β⇔β' в пленках In2Se3 XVI Российская конференция по физике полупроводников, с. 57 (год публикации - 2024)
6. Захожев К.Е., Рогило Д.И., Пономарев С.А., Гутаковский А.К., Кох К. А., Курусь Н.Н., Щеглов Д. В., Милехин А. Г., Латышев А.В. Рост SnSe2, инициированный кристаллизацией тонкого аморфного слоя на поверхностях Bi2Se3(0001) и Si(111) XV конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2024», с. 32 (год публикации - 2024)
7. Захожев К.Е., Пономарев С.А., Рогило Д.И., Голяшов В.А., Курусь Н.Н., Гутаковский А.К., Кох К.А., Щеглов Д.В., Милехин А.Г., Латышев А.В. Ван-дер-ваальсовый гетероэпитаксиальный рост SnSe2 на поверхностях Bi2Se3(0001) и Si(111) XVI Российская конференция по физике полупроводников, с. 62 (год публикации - 2024)
8. Захожев К.Е., Пономарев С.А., Рогило Д.И., Кох К.А., Курусь Н.Н., Щеглов Д.В., Милехин А.Г., Латышев А.В. Ван-дер-ваальсовый гетероэпитаксиальный рост SnSe2 на поверхностях Bi2Se3(0001) и Si(111) Школа молодых ученых «Физика и технология квантовых систем» (ФТКС 2024), с. 23 (год публикации - 2024)
9.
Кузнецов В.А., Протасов Д.Ю., Дмитриев Д.В., Костюченко В.Я., Рогило Д.И., Журавлев К.С.
Параметры омических контактов и учет влияния реальных размеров образцов на полевую зависимость дрейфовой скорости в слоях In0,16Ga0,84As
Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники., Т. 28, № 1 (год публикации - 2025)
10.17073/1609-3577j.met202407.602
10.
Пономарев С.А., Курусь Н.Н., Голяшов В.А., Миронов А.Ю., Рогило Д.И., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В.
Фазовый переход β ⇔ β′ с температурным гистерезисом в пленках In2Se3
Физика и техника полупроводников, т. 58, №7, с. 370-375 (год публикации - 2024)
10.61011/FTP.2024.07.59180.6335H
11. Рогило Д. И., Пономарев С. А., Насимов Д. А., Кох К. А., Рябищенкова А. Г., Голяшов В.А., Щеглов Д. В., Латышев А. В. Процессы на поверхности Bi2Se3(0001) при адсорбции In XVI Российская конференция по физике полупроводников, с. 64 (год публикации - 2024)
12. Пономарев С.А., Курусь Н.Н., Голяшов В.А., Рогило Д.И., Миронов А.Ю., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В. Фазовый переход β⇔β' с температурным гистерезисом в пленках In2Se3 Школа молодых ученых «Физика и технология квантовых систем» (ФТКС 2024), с. 35 (год публикации - 2024)
13.
Пономарев С.А., Рогило Д.И., Голяшов В.А., Насимов Д.А., Кох К.А., Щеглов Д.В., Латышев А.В.
Взаимодействие атомов In с поверхностью Bi2Se3(0001) в процессе низкотемпературной адсорбции
Физика и техника полупроводников, т. 58, №11, с. 606-611 (год публикации - 2024)
10.61011/FTP.2024.11.59483.18S
14. Пономарев С.А. Фазовый переход с температурным гистерезисом в пленках In2Se3/Si(111) XIX Российская студенческая конференция «Физика твердого тела», с. 97 (год публикации - 2024)
15. Пономарев С.А., Курусь Н.Н., Голяшов В.А., Миронов А.Ю., Рогило Д.И., Милехин А.Г., Щеглов Д.В., Латышев А.В. Фазовый переход с температурным гистерезисом в пленках In2Se3/Si(111) XV конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «Кремний-2024», с. 58 (год публикации - 2024)
16. Пономарев С. А., Рогило Д. И., Голяшов В.А., Насимов Д. А., Кох К. А., Щеглов Д. В., Латышев А. В. Высокотемпературная адсорбция индия на поверхность Bi2Se3(0001) Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVIII Международного симпозиума, с. 473 (год публикации - 2025)
17. Пономарев С. А., Рогило Д. И., Голяшов В.А., Насимов Д. А., Кох К. А., Щеглов Д. В., Латышев А. В. Низкотемпературная адсорбция индия на поверхность Bi2Se3(0001) Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVIII Международного симпозиума, с. 365 (год публикации - 2025)
18. Рогило Д. И., Пономарев С. А., Насимов Д. А., Кох К. А., Рябищенкова А. Г., Голяшов В.А., Щеглов Д. В., Латышев А. В. Surface processes on Bi2Se3(0001) during indium deposition studied by in situ reflection electron microscopy 22nd European Molecular Beam Epitaxy Workshop (год публикации - 2025)