КАРТОЧКА
ПРОЕКТА ПРИКЛАДНЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер 24-91-24002
НазваниеСоздание базовых микро-устройств нового поколения для нужд микроэлектроники на основе одномерных полупроводниковых наноструктур
РуководительКорепанов Виталий Игоревич, Доктор физико-математических наук
Организация - исполнитель, регионфедеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Московская обл
| Период выполнения при поддержке РНФ | 2024 г. - 2026 г. |
Конкурс№3024 - Конкурс 2024 года «Выполнение ориентированных и прикладных научных исследований в рамках стратегических инициатив Президента Российской Федерации в научно-технологической сфере в области производства приборов на основе квантовых эффектов и элементов наноэлектроники и молекулярной электроники» (3024).
Лот1
Область знания, основной код классификатора 11-700 - Производство приборов на основе квантовых эффектов и элементов наноэлектроники и молекулярной электроники, 11-712 - Технологические процессы изготовления приборов на основе квантовых эффектов и элементов наноэлектроники и молекулярной электроники
Ключевые словаакустические резонаторы, полупроводники, микроэлектромеханические системы, пьезоэлектрические преобразователи, датчики
Вид научных исследованийориентированные
Наименование технологического предложенияИсследование одномерных полупроводниковых нанострукту и многослойных графеновых систем для создания микро-устройств нового поколения и новых элементов ЭКБ
Организация - заказчик технологического предложенияАО «НИИМЭ»
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
В связи с миниатюризацией и повышением требований к рабочим характеристикам последние несколько десятков лет, акустоэлектронные устройства используются практически во всех областях радиоэлектроники. По мере эволюции технологических подходов, такие устройства позволяют осваивать всё более высокочастотные диапазоны и имеют ряд преимуществ, таких, как низкое энергопотребление, малые размеры и масса.
Основная цель данного проекта – разработка технологий получения акустоэлектронных и оптоэлектронных микроустройств нового поколения для нужд микроэлектронной промышленности.
Задачи проекта:
* усовершенствование технологий газофазного роста квазиодномерных полупроводниковых материалов (в первую очередь ZnO и AlN);
* создание рабочих макетов ряда акустооптических устройств (микрорезонаторов);
* опробовать технологию создания упорядоченных массивов наностержней, аналогичной фотонным кристаллам, за счёт литографических технологий пре-структурирования подложки, и протестировать создание акустических резонаторов на таких объектах;
* на основе единичных наностержней при помощи литографических методов создать рабочие макеты наноразмерных устройств акустооптики (излучатель, фотонная антенна, электромеханический резонатор);
Коллектив обладает как современными подходами и технологиями, так и соответствующим опытом и серьёзным научным заделом, требуемым для успешного выполнения проекта. Анализ литературы подтверждает перспективность выбранного подхода, а проведённые на данный момент предварительные эксперименты уже дали положительный результат. В связи с этим есть основания рассчитывать, что запланированная работа приведет к успешному выполнению проекта.
Результаты проекта послужат основой для создания ряда технологий СВЧ электроники, высокопроизводительной фотоники и микроэлектромеханической техники. В более далекой перспективе возможно применение источников и усилителей на основе ZnO (в т.ч. легированного) в квантовых оптических вычислителях.
В связи с миниатюризацией и повышением требований к рабочим характеристикам последние несколько десятков лет, акустоэлектронные устройства используются практически во всех областях радиоэлектроники. По мере эволюции технологических подходов, такие устройства позволяют осваивать всё более высокочастотные диапазоны и имеют ряд преимуществ, таких, как низкое энергопотребление, малые размеры и масса.
Основная цель данного проекта – разработка технологий получения акустоэлектронных и оптоэлектронных микроустройств нового поколения для нужд микроэлектронной промышленности.
Задачи проекта:
* усовершенствование технологий газофазного роста квазиодномерных полупроводниковых материалов (в первую очередь ZnO и AlN);
* создание рабочих макетов ряда акустооптических устройств (микрорезонаторов);
* опробовать технологию создания упорядоченных массивов наностержней, аналогичной фотонным кристаллам, за счёт литографических технологий пре-структурирования подложки, и протестировать создание акустических резонаторов на таких объектах;
* на основе единичных наностержней при помощи литографических методов создать рабочие макеты наноразмерных устройств акустооптики (излучатель, фотонная антенна, электромеханический резонатор);
Коллектив обладает как современными подходами и технологиями, так и соответствующим опытом и серьёзным научным заделом, требуемым для успешного выполнения проекта. Анализ литературы подтверждает перспективность выбранного подхода, а проведённые на данный момент предварительные эксперименты уже дали положительный результат. В связи с этим есть основания рассчитывать, что запланированная работа приведет к успешному выполнению проекта.
Результаты проекта послужат основой для создания ряда технологий СВЧ электроники, высокопроизводительной фотоники и микроэлектромеханической техники. В более далекой перспективе возможно применение источников и усилителей на основе ZnO (в т.ч. легированного) в квантовых оптических вычислителях.
Ожидаемые результаты
Основные ожидаемые результаты включают в себя:
1) Усовершенствованные методики получения нитрида алюминия и оксида цинка, позволяющие воспроизводимо получать поликристаллические ориентированные плёнки и массивы наностержней;
2) Методику создания акустических микрорезонаторов на основе текстурированных плёнок AlN и отдельных наностержней ZnO;
3) Методику тестирования свойств акустических микрорезонаторов;
4) Предложения по созданию конкретных компонент микросистемной техники на основе акустических микрорезонаторов, таких как пьезоэлектрический преобразователь энергии, микроэлектромеханический датчик.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2024 году
-