КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ

Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.

 

ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ


Номер 21-19-00226

НазваниеФункциональные разветвленные сети на основе одностенных углеродных нанотрубок, жгутов из них и графеновых моно-/слоистых чешуек для эмиссионной электроники: новые технологические решения и прикладные разработки

РуководительГлухова Ольга Евгеньевна, Доктор физико-математических наук

Организация финансирования, регион федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского", Саратовская обл

Период выполнения при поддержке РНФ 2021 г. - 2023 г. 

Конкурс№55 - Конкурс 2021 года «Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами».

Область знания, основной код классификатора 09 - Инженерные науки, 09-710 - Новые материалы для наноэлектронных приборов

Ключевые словаПолевая эмиссия, автокатоды, разветвленная 3D-сетка из одностенных углеродных нанотрубок и графеновых чешуек, планируемый эксперимент, технологические решения, вычислительно-технологическая платформа, лазерная наносварка, работа выхода, пондеромоторная сила, туннелирование электронов

Код ГРНТИ47.09.48


СтатусУспешно завершен


 

ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ


Аннотация
Проект направлен на решение научной проблемы эмиссионной электроники – поиск новых наноматериалов с целью развития элементной базы для приборов с сильноточными автоэмиссионными источниками электронов. Актуальность и сложность решения этой проблемы обусловлены комплексностью требований, которым должны удовлетворять соответствующие наноматериалы, обеспечивая высокий интегральный ток при оптимальных эмиссионных и механических свойствах, хорошую устойчивость к воздействию тепла и пондеромоторных сил, в том числе при воздействии импульсных и периодических переменных напряжений. Конкретной целью проекта является разработка новых технологических решений формирования с помощью лазера нового углеродного наноматериала высокой твердости и проводимости с развитой поверхностью с большим количеством эмиссионных центров, экспериментальная верификация и получение в итоге нового материала для создания высокоэффективных наноэмиттеров автоэмиссионных катодов. Новый углеродный наноматериал планируется формировать как разветвленную сеть на основе одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ), жгутов (bundle) из ОУНТ и графеновых моно- и слоистых чешуек (flakes). Актуальность обусловлена большими перспективами подобных сеток. Сетки на основе графена уже успешно применяются как эмитирующие покрытия острий полевых катодов [Nature Communications, v. 9, аrticle number: 1288 (2018); Applied Surface Science, V. 362, 30 January 2016, p. 250-256; Composite Part B: Engineering, V.183, 15 Feb.,2020, 107600], а также наряду с 3D-сетками из нанотрубок они используются как эмитирующие поверхности, подвешенные между остриями или электродами [Nature Communications, v. 7, аrticle number: 11513 (2016); Journal of Nanosci. And Nanotech. V.19, 2375–2378, 2019]. Главной проблемой подобных сеток остается обеспечение 1) высокой прочности, которая определяется надежностью контактов между компонентами её составляющими, и 2) высокой адгезией с катодной поверхностью. В данном проекте удовлетворение нового наноматериала этим требованиям будет обеспечено в процессе достижения поставленной цели. Поскольку цель проекта является масштабной, она требует комплексного и междисциплинарного подхода, подразумевающего: 1) разработку научно-методического численного аппарата (НМЧА) для решения инженерных и технологических задач в области получения новых функциональных углеродных наноматериалов как эффективных наноразмерных источников электронов для автоэмиссионных катодов; 2) разработку с помощью созданного НМЧА технологических решений а) формирования с применением лазера нового наноматериала на базе графена и ОУНТ/жгутов, обладающего высокой твердостью и проводимостью, развитой поверхностью с большим количеством эмиссионных центров, б) снижения работы выхода путем модификации атомами щелочных металлов с выявлением максимально возможной концентрации; 3) получение лазерной наносваркой нового углеродного наноматериала в виде разветвленной сети из ОУНТ, ОУНТ-жгутов и графеновых моно- и слоистых чешуек, в том числе на различных подложках; 4) формирование образцов функционализированного нового углеродного наноматериала с применением модификации атомами щелочных металлов; 5) экспериментальное исследование эмиссионных характеристик, стабильности эмиссии полученных образцов нового наноматериала. Под наносваркой понимается формирование ковалентных связей между атомами различных нанообъектов в составе наноматериала. Научная новизна предлагаемого проекта заключается в создании новой вычислительно-технологической платформы (ВТП), основу которой составят: а) в качестве вычислительного аспекта – новый НМЧА; б) в качестве технологического – новый лазерно-технологический инструментарий (ЛТИ). Новый НМЧА обеспечит планируемый эксперимент в трех направлениях. Первое направление НМЧА заключается в обеспечении качества лазерной наносварки указанных нанообъектов. Оно подразумевает выявление оптимальных длины волны лазера и длительности импульса при заданной мощности. Второе направление НМЧА заключается в определении оптимальной толщины наноматериала с позиции сужения потенциального барьера для туннелирующих электронов, и критических полей, в которых значение пондеромоторной силы возрастает настолько, что приводит к разрушению наноэмиттера, а также максимальный эмиссионный ток без разрушения эмиссионных центров. Третье направление НМЧА заключается в установлении способа фукнционализации наноматериала атомами щелочных металлов, обеспечивающего снижение работы выхода электронов. Новый ЛТИ будет представлен новой технологией формирования разветвленных 3D-сеток из указанных нанообъектов для автокатодов, которая одновременно: 1) производит качественную наносварку ОУНТ, ОУНТ-жгутов и графеновых моно-/слоистых чешуек на основе априорных данных, полученных из планируемого эксперимента; 2) формирует морфологию поверхности с образованием многочисленных эмиссионных центров в виде «леса» из срощенных ОУНТ, ОУНТ-жгутов и атомарных ребер графеновых чешуек; 3) сращивает синтезируемую 3D-сетку с подложкой. Таким образом, с помощью разработанной ВТП будет получена серия образцов наноматериала с высокими проводимостью и прочностью, толщина которых будет соответствовать оптимальной с позиции увеличения потока туннелирующих сквозь барьер электронов. Уже на основе результатов, полученных с помощью ВТП, будет проведена функционализация образцов в направлении снижения работы выхода. Впервые 3D-сетки из ОУНТ, ОУНТ-жгутов и графеновых чешуек будут модифицированы атомами щелочных металлов, которые, заполняя нанополости 3D-сетки, обеспечат изменение электронного строения наноматериала и снижение работы выхода.

Ожидаемые результаты
Основные результаты, которые ожидается получить. 1. Технологическое решение (ТР) I – формирование методом лазерной наносварки нового высоко проводящего и прочного наноматериала – разветвленной сети на основе одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ), жгутов (bundle) из ОУНТ и графеновых моно- и слоистых чешуек (flakes). Основными критериями эффективности лазерной наносварки станут высокая электропроводность и твердость, достигаемые вследствие надежности контактов между графеновыми и нанотрубными объектами из-за сформированных между ними ковалентных связей. 2. Технологическое решение II – контроля морфологии наноматериала, обеспечивающего развитую поверхность с большим количеством эмиссионных центров, с одновременным привариванием нового наноматериала к подложке, предопределяющим высокую адгезию. 3. Серии образцов: а) нового наноматериала на различных подложках с различной массовой долей ОУНТ и графеновых чешуек; б) нового наноматериала, функционализированного (легированного) атомами щелочных металлов. 4. Семейства электропроводных, прочностных характеристик нового материала в зависимости от массовой доли и морфологии нанотрубных и графеновым компонентов, а также в зависимости от типа подложки. 5. Автоэмиссионные характеристики, семейства ВАХ для не-/функционализированных образцов нового наноматериала. 6. Перечисленные технологические решения будут получены на базе созданной в ходе реализации проекта новой вычислительно-технологической платформы (подробно представленной в аннотации), позволяющей осуществлять планируемый эксперимент и на основе его результатов разработать технологическое решение. Для ТР I планируемый эксперимент, реализованный на базе научно-методического численного аппарата в составе ВТП, позволит прогнозировать оптимальный режим облучения лазером исходной графен-нанотрубной смеси (длина волны, длительность импульса, мощность), обеспечивающий эффективную лазерную наносварку. Режим лазерного облучения, уточненный в ходе экспериментальных исследований, и составит новизну ТР I. Для ТР II планируемый эксперимент будет прогнозировать закономерности протекания тока с учетом массивного образца катода, пределы прочности на отрыв атомов эмиссионных центров наноматериала в сильных электрических полях, предельно допустимые значения эмиссионного тока наноматериала; оптимальную морфологию развитой поверхности для достижения максимальных эмиссионных токов без разрушения эмиссионных центров. Оптимальная морфология поверхности и высокая адгезия с подложкой составят новизну ТР II. Для проведения эффективной функционализации будет установлена оптимальная концентрация легирующих атомов, предопределяющая снижение работы выхода электронов. Ожидаемые результаты имеют большую научную и общественную значимость, что обуславливается современными мировыми тенденциями к расширению спектра применений микро-и наноисточников полевой эмиссии не только в электронике, но и социальной сфере. Холодные катоды – основа вакуумных электронных приборов, реализующих телевещание, наземную и космическую связь, сотовую связь, то есть всё то, что способствует человеческой коммуникации и без чего человечество уже не может существовать. Исследования, проводимые в рамках данного проекта, будут опираться на имеющийся надежный, хорошо апробированный научный и технологический мировой задел в этом направлении, а также на уникальные наработки коллектива данного проекта. В связи с этим ожидаемо заявленные результаты будут соответствовать мировому уровню исследований в области поиска новых наноматериалов для полевой эмиссионной электроники. Разработанная ВТП планируется в качестве фундамента для дальнейшего развития лазерных технологий применительно к формированию новых наноматериалов, в том числе и не углеродных, необходимых при разработке продукции на научно-производственных предприятиях электронной промышленности РФ, в частности АО «НПП «Алмаз», АО «НПЦ «Алмаз-Фазотрон» и других предприятиях. Таким образом, с большой вероятностью можно ожидать по итогам выполнения проекта формирования надежного научно-технологического задела для развития электронно-технологической базы России.


 

ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ


Аннотация результатов, полученных в 2021 году
1) Создан первый блок нового научно-методического численного аппарата (НМЧА), который предназначен для проведения планируемого эксперимента с целью выявление оптимальной длины волны лазера, работающего в импульсном режиме, обеспечивающей надлежащее качество лазерной наносварки разветвленных 3D-сеток из одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ), их вторичных структур (жгутов) и графеновых моно-/слоистых чешуек, в том числе высокие электропроводность и механическая твердость создаваемых наноконструкций. Созданный блок НМЧА реализует оригинальные методики физико-математического моделирования взаимодействия электромагнитного излучения с нанообъектами 3D-сетки из ОУНТ, их жгутов и графеновых моно-/слоистых чешуек и моделирования процесса теплопереноса в наноструктурах: а) методика вычисления оптических параметров (коэффициентов прохождения, отражения, поглощения) наноструктур в диапазоне УФ-видимый-ИК, развитая для рассмотрения электромагнитных волн различной поляризации (p-поляризованной волны (TM-волны) и s-поляризованной волны (TE-волны)) при наклонном падении волны на границу раздела сред и для учета межзонных и внутризонных переходов электронов при расчете матрицы электрон–фотонного взаимодействия; б) методика молекулярно-динамического моделирования процесса наносварки при поглощении энергии лазерного излучения, развитая для учета кондуктивного теплоотвода и радиационного (излучательного) теплоотвода; в) оригинальная методика моделирования процесса теплопереноса в наноструктурах с учетом теплоотвода излучением и многократного рассеяния электромагнитных волн на УНТ. 2) Исследован радиационный обмен тепловой энергией на нанометровых расстояниях между УНТ различных диаметров и типов: кресельных (с металлическим типом проводимости) и зигзагообразных (металлических и полупроводниковых). В результате расчетов показано, что радиационный поток энергии между двумя металлическими УНТ почти на три порядка превышает поток энергии между двумя полупроводниковыми УНТ близкого диаметра и между полупроводниковой и металлической УНТ. Потоки тепловой энергии между металлическими зигзагообразной и кресельной УНТ сопоставимы. Показано, что учет многократного рассеяния волн существенен для металлических УНТ – он дает результат на порядок больший чем получается при игнорировании рассеяния. В то же время, для полупроводниковых УНТ эффект многократного рассеяния незначителен, и его можно не учитывать. 3) Развит новый способ синтеза ОУНТ с заданными характеристиками методом химического осаждения из газовой фазы на поверхности аэрозольного катализатора с использованием изопропилового спирта в качестве сырья. Показано, что остатки ферроцена играют важную роль в активации катализатора и зародышеобразовании ОУНТ, что позволяет контролировать производительность катализатора, а также характерный размер нанотрубок. Полученные нанотрубки обладают низкой дефектностью и малой долей аморфного углерода. 4) Разработан новый метод синтеза графена из монооксида углерода на поверхности медного катализатора как в твердом, так и в расплавленном состоянии при атмосферном давлении. Показано, что геометрия кристаллов, а именно наличие межзеренных границ существенным образом определяется концентрацией диоксида углерода. Выявлено, что повышение концентрации диоксида углерода приводит к травлению кристаллитов, что является принципиально новым процессом, не наблюдавшимся ранее. 5) Проведены исследования спектров хиральных ОУНТ типа (6,5), (6,3), (7,5), (12,6), (8,3), (8,4), (7,6), (12,8), (14,4), (10,6), (8,6), (9,4), (11,10) и (16,0), отвечающих экспериментальным данным о наиболее часто синтезируемым одностенным нанотрубкам диаметром ~ 0.7-1.3 нм. Установлено, что в интервалах длин волн 200-300 нм (УФ-диапазон) и 1000-1100 нм (ближний ИК-диапазон) наблюдается наибольшее количество пиков интенсивности поглощения независимо от типа хиральности нанотрубок. 6) Определено распределение значений плотности энергии лазерного излучения (0,061–0,8 Дж/см2) первой и четвертой гармоник Nd:YAG лазера – 266, 1064 нм с длительностью импульсов 100 нс. Экспериментально подтверждено формирование 3D-сеток из УНТ, а также из УНТ и графена при пороговых плотностях энергии излучения 0,3 и 0,5 Дж/см2 для пленок, включающих ОУНТ и МУНТ соответственно. Показано, что повышение плотности энергии излучения выше порогового значения способствует образованию аморфного углерода на поверхностях УНТ в виде нановключений, а также к увеличению дефектности УНТ после лазерного воздействия, которое связано с появлением C-C связей с ближайшими нанообъектами. 7) В результате лазерной наносварки были экспериментально получены образцы наноматериала в виде 3D-сеток на основе УНТ и графена. Образцы представляли собой плёнки из нанообъектов на подложках из Si с толщиной оксидного слоя 0,52 мкм и размерами 10 мм × 10 мм. Толщина пленок ~ 500–1000 нм наносились 800–1000 слоев в зависимости от типа нанообъектов. Установлено, что распределение твердости по глубине для 3D-сеток на основе ОУНТ и МУНТ составило 36,3–40,1 ГПа и 39,5–42,8 ГПа соответственно. При этом добавление графена привело к снижению твердости в случае с пленкой ОУНТ/графен. После лазерного воздействия распределение твердости составило 32,8–34,9 ГПа. В случае с пленкой МУНТ/графен добавление графена привело к увеличению твердости, распределение по глубине составило 51,5–52,7 ГПа. Установлены закономерности увеличения электропроводности 3D-сеток на основе ОУНТ и МУНТ после лазерного воздействия до 11,5 кСм/м и 18,4 кСм/м соответственно. Показано, что добавление графена способствовало существенному увеличению электропроводности пленки МУНТ/графен. Максимальная электропроводность была получена для 3D-сетки МУНТ/графен и составляла ~ 22,6×10^6 См/м. 8) Подана заявка на патент на разработанное технологическое решение «Способ формирования электропроводящего слоя на основе оксида графена и углеродных нанотрубок», которое включает окислительную обработку углеродных нанотрубок, формирование суспензии оксида графена и углеродных нанотрубок, нанесение суспензии оксида графена и углеродных нанотрубок на нагретую подложку и облучение сформированного слоя из оксида графена и углеродных нанотрубок лазерным излучением в импульсном режиме. 9) Предложена стационарная модель для вычисления туннельного тока вакуумного резонансно-туннельного триода и тетрода с управляющими сетками. Модель основана на решении стационарного уравнения Шредингера методом матриц передачи с вычислением профиля потенциальной энергии в структуре с несколькими электродами методом многократных изображений. Модель предусматривает включение в структуру одной или двух сеток, в частности, находящихся под одинаковым потенциалом. Для такой структуры с двойной квантовой ямой получено резонансное туннелирование и показана возможность получения плотностей тока до 10^13 А/м2 при напряжениях на катоде не более 10^10 В/м. 10) Получено уравнение для определения резонансных уровней в многоямном квантовом потенциале с несколькими горбами. Уравнение позволяет определять как квазиуровни с комплексными значениями энергий (метастабильные уровни), знание которых позволяет создавать оптимальные распределения потенциала, так и собственные уровни с действительными энергиями. 11) Установлено, что влияние углеродных структур на поверхности катода на полевую эмиссию сводится к проникновению поля внутрь структуры и к ускорению набегающих на барьер электронов, а также к изменению профиля барьера в случае структур с диэлектрическими свойствами. Предложен метод решения 1D уравнения Пуассона совместно с уравнением Шредингера.

 

Публикации

1. Герасименко А.Ю., Куксин А.В., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Федорова Ю.О., Сыса А.В., Павлов А.А., Глухова О.Е. Electrically Conductive Networks from Hybrids of Carbon Nanotubes and Graphene Created by Laser Radiation Nanomaterials, Vol. 11, Iss. 8, P. 1875 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.3390/nano11081875

2. Глухова О.Е., Слепченков М.М., Колесниченко П.А. Туннельный ток между структурными элементами тонких графен/нанотрубных пленок Физика твердого тела, Т. 63, № 12, С. 2198-2204 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.21883/FTT.2021.12.51684.180

3. Давидович М.В., Нефедов И.С., Глухова О.Е., Слепченков М.М. Toward the Theory of Resonant-Tunneling Triode and Tetrode with CNT-Graphene Grids Journal of Applied Physics, Vol. 130, Iss. 20, P. 204301 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.1063/5.0067763

4. Куксин А.В., Курилова У.Е., Глухова О.Е., Еганова Е.М., Дудин А.А., Герасименко А.Ю. Electrically conductive CNT networks formed by laser Journal of Physics: Conference Series, Vol. 2086, P. 012011 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.1088/1742-6596/2086/1/012011

5. Слепченков М.М., Барков П.В., Глухова О.Е. In silico study of the electrically conductive and electrochemical properties of hybrid films formed by bilayer graphene and single-wall nanotubes under axial stretching Membranes, Vol. 11, Iss. 9, P. 658 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.3390/membranes11090658

6. Слепченков М.М., Барков П.В., Глухова О.Е. Hybrid Films Based on Bilayer Graphene and Single-Walled Carbon Nanotubes: Simulation of Atomic Structure and Study of Electrically Conductive Properties Nanomaterials, Vol. 11, Iss. 8, P. 1934 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.3390/nano11081934

7. - В России создали гибридные сети из углерода для улучшения работы нано- и биоэлектроники Информационное агентство ТАСС, - (год публикации - )

8. - Гибридные сети из углерода сделают нано- и биоэлектронику надежнее и быстрее Информационно-аналитический портал российской национальной нанотехнологической сети RusNanoNet.ru, - (год публикации - )

9. - Гибридные сети из углерода сделают нано- и биоэлектронику надежнее и быстрее Информационное агентство «Научная Россия», - (год публикации - )

10. - Новые гибридные сети из углерода улучшат нано- и биоэлектронику Хайтек, - (год публикации - )

11. - Гибридные сети из углерода сделают нано- и биоэлектронику надежнее и быстрее Научно-информационный портал “Поиск”, - (год публикации - )

12. - Гибридные сети из углерода сделают нано- и биоэлектронику надежнее и быстрее Фармацевтический портал «ИНФАРМ», - (год публикации - )

13. - Ученые улучшили биоэлектронику гибридными сетями из углерода «Газета.ru» — российское общественно-политическое интернет-издание, - (год публикации - )

14. - Российские ученые создали более прочный гибридный наноматериал из углерода Информационное агентство Красная Весна, - (год публикации - )

15. - Российские учёные создали гибридные наноструктуры с улучшенными свойствами Научно-популярный журнал «Машины и Механизмы», - (год публикации - )

16. - Гибридные сети из углерода сделают нано- и биоэлектронику надежнее и быстрее Электронное периодическое издание «Научная Россия», - (год публикации - )

17. - Физики придумали, как увеличить эффективность испускателей электронов «Газета.ru» — российское общественно-политическое интернет-издание, - (год публикации - )

18. - Российские ученые рассчитали, как получить мощные испускатели электронов для микроскопов и ускорителей частиц Электронное периодическое издание «Научная Россия», - (год публикации - )

19. - Математическая модель облегчит разработку микроскопов и ускорителей частиц Научно-популярный журнал «Машины и Механизмы», - (год публикации - )

20. - Ученые рассчитали, как получить мощные испускатели электронов для микроскопов и ускорителей частиц Медиахолдинг “РусКабель”, - (год публикации - )

21. - Ученые РФ рассчитали, как получить мощные испускатели электронов для микроскопов и ускорителей частиц Научно-информационный портал “Поиск”, - (год публикации - )

22. - Смоделированы мощные испускатели электронов для микроскопов и ускорителей Информационно-сервисный портал InScience.News, - (год публикации - )

23. - Российские ученые разработали испускатели электронов для микроскопов Московский бизнес-портал "ГлобалМСК.ру", - (год публикации - )

24. - Российские ученые рассчитали, как получить мощные испускатели электронов для микроскопов и ускорителей частиц Журнал "РИТМ машиностроения", - (год публикации - )


Аннотация результатов, полученных в 2022 году
Созданы образцы наноматериалов в виде «сваренных» лазером 3D углеродных сеток с развитой поверхностью на кремниевых подложках, обеспечивающих полевую эмиссию. Этот углеродный наноматериал представляет собой сеть из одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) и восстановленного оксида графена (вОГ), ковалентное соединение которых друг с другом получено в результате определенного лазерного воздействия. Для получения ОУНТ и графена с заданными свойствами проведен ряд работ по совершенствованию технологии травления диокидом углерода и разработана новая методика быстрой визуализации с помощью атомно-силовой микроскопии, что позволило получить графеновые листы и ОУНТ с требуемыми дефектами, играющими решающую роль в процессе формирования ковалентных связей под действием лазерного облучения. Для улучшения адгезии ОУНТ к подложке (применена кремниевая подложка) были созданы наноматериалы вОГ-ОУНТ с буферным слоем из чешуек вОГ после лазерного воздействия с плотностью энергии 0.8 Дж/см2 и основным слоем ОУНТ после лазерного воздействия с плотностью энергии 0.5 Дж/см2. Лазер индуцировал не только формирование новых ковалентных связей – сварку ОУНТ с чешуйками вОГ, но и изменение их ориентации относительно подложки. С помощью численного моделирования с применением квантовых методов выявлено, что внешние сильные поля напряженностью 1.0е7–1.0е8 В/см не только отрывают отдельные краевые атомы у графеновых наночешуек, но и индуцируют большие дипольные моменты ~2500 Дебай, в результате чего отдельные фрагменты разворачиваются по силовым линиям поля, формируя эмиссионные центры. При этом пондеромоторная сила, отрывающая атомы, составляет несколько наноньютон и проявляет своё действие уже в первые 10–15 фс с момента приложения внешнего поля. Теоретические оценки позволили определить, что для обеспечения максимально возможного снижения работы выхода плёнок из 3D-сеток из УНТ и графена необходимо контролировать их толщину. Оптимальной для подобных плёнок является толщина ~2 нм. В такой плёнке отсутствует разрушение эмиссионных центров. И для подобных плёнок могут быть достигнуты максимально возможные значения плотности тока – 10^12-10^13 А/м2 в условиях импульсного режима работы. С помощью метода наноиндентирования определена максимальная твердость созданного наноматериала вОГ-ОУНТ на основе буферного слоя из чешуек вОГ и основного слоя из ОУНТ – 54,4 ГПа, что в несколько раз превышает твёрдость аналогичных наноматериалов, создаваемых без применения лазера. Методом склерометрии было определено, что после лазерного воздействия максимальной адгезией обладали слои на основе наноматериалов вОГ и вОГ-ОУНТ. Сила для отрыва данных слоев составила 44.8 и 47.5 мН, соответственно. Для 3D углеродных сеток определенны эмиссионные характеристики: 1) пороговые напряженности эмиссии; 2) максимальный эмиссионный ток. Зависимость тока от напряжения для образцов наноматериала на основе только ОУНТ продемонстрировала максимальный ток ~ 0.14 мА при пороговой напряженности начала эмиссии 10 В/мкм, для наноматериала на основе вОГ – ~1 мкА при пороговой напряженности около 35 В/мкм, в то время как для наноматериала на основе 3D сеток вОГ/ОУНТ значение эмиссионного тока составило 0,1 мкА при пороговой напряженности 30 В/мкм. Наилучшими эмиссионными характеристиками обладают наноматериалы вОГ-ОУНТ, для которых пороговая напряженность начала эмиссии составила 17 В/мкм, а значения максимального тока достигали 200 мкА. Проведены исследования стабильности эмиссионных центров наноматериалов. Катод на основе наноматериала вОГ-ОУНТ с площадью ~1 мм2 обеспечивает стабильную полевую эмиссию в течение 540 мин при токе 1 мА. Достигнутая максимальная плотность тока была в 2.5 раза выше по сравнению с катодом только из ОУНТ и составила 562 мА/см2. Проведенные работы открывают широкие перспективы контроля автоэмиссионных свойств 3D графен-ОУНТ сеток путем функционализации их различными атомами и/или группами атомов для обеспечения лучших характеристик с позиции прикладных применений в области эмиссионной микро- и наноэлектроники.

 

Публикации

1. Герасименко А.Ю., Куксин А.В., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Федорова Ю.О., Мурашко Д.Т., Шаманаев А.А., Еганова Е.М., Сыса А.В., Савельев М.С., Телышев Д.В., Павлов А.А., Глухова О.Е. Hybrid Carbon Nanotubes–Graphene Nanostructures: Modeling, Formation, Characterization Nanomaterials, Vol. 12, Iss. 16, P. 2812 (1-27 pp.) (год публикации - 2022) https://doi.org/10.3390/nano12162812

2. Глухова О.Е., Слепченков М.М. Графен/нанотрубные квази-1D-структуры в сильных электрических полях Физика твердого тела, Т. 64, Вып. 5, С. 578-586 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.21883/FTT.2022.05.52340.26

3. Давидович М.В. Особенности вакуумного резонансного туннелирования на одноямном и двухъямном барьерных потенциалах Журнал технической физики, Т. 92, Вып. 9, С. 1387-1401 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.21883/JTF.2022.09.52931.257-21

4. Давидович М.В. Дисперсионное взаимодействие тел произвольной формы Радиотехника и электроника, T. 67, № 10, стр. 955-963 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.31857/S0033849422100011

5. Куксин А.В., Глухова О.Е., Герасименко А.Ю. Электропроводящие каркасные материалы из углеродных нанотрубок Известия высших учебных заведений. Электроника, Т. 27, № 1, С. 19-27 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.24151/1561-5405-2022-27-1-19-27

6. Нефедов И.С., Давидович М.В., Глухова О.Е., Слепченков М.М., Руби Ю.М. Radiative heat transfer between two carbon nanotubes Scientific Reports, Vol. 12, P. 17930 (1-10 pp.) (год публикации - 2022) https://doi.org/10.1038/s41598-022-22138-8

7. Слепченков М.М., Глухова О.Е. Electronic properties and behavior of carbon network based on graphene and single-walled carbon nanotubes in strong electrical fields: Quantum molecular dynamics study Nanotechnology, Vol. 33, Num. 28, P. 285001 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.1088/1361-6528/ac652a

8. Илатовский Д.А., Гильштейн Е.П., Глухова О.Е., Насибулин А.Г. Transparent Conducting Films Based on Carbon Nanotubes: Rational Design toward the Theoretical Limit Advanced Science, Vol. 9, Iss. 24, P. 2201673 (1-16 pp.) (год публикации - 2022) https://doi.org/10.1002/advs.202201673

9. Куксин А.В., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Глухова О.Е., Герасименко А.Ю. Influence of laser radiation on carbon nanostructures in order to improve their electrophysical characteristics 2022 International Conference Laser Optics (ICLO), P. 1-2 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.1109/ICLO54117.2022.9839984

10. Куксин А.В., Герасименко А.Ю., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Глухова О.Е. Способ формирования электропроводящего слоя на основе оксида графена и углеродных нанотрубок -, Номер патента 2773731 (год публикации - )

11. - Лезвийные гибриды из графена и углеродной нанотрубки Газета Коммерсантъ, - (год публикации - )

12. - Ученые исследовали свойства лезвийных гибридов из графена и углеродной нанотрубки Мультимедийный портал ПОИСК, - (год публикации - )

13. - Ученые исследовали свойства лезвийных гибридов из графена и углеродной нанотрубки Электронное периодическое издание «Научная Россия», - (год публикации - )

14. - Ученые исследовали свойства лезвийных гибридов из графена и углеродной нанотрубки Сайт о нанотехнологиях NanoNewsNet.ru, - (год публикации - )

15. - Исследованы свойства лезвийных гибридов из графена и углеродной нанотрубки Информационный портал «InScience.News», - (год публикации - )

16. - В России решили одну из проблем электроники нового поколения РИА Новости, - (год публикации - )

17. - Ученые исследовали свойства лезвийных гибридов из графена и углеродной нанотрубки Пресс-служба РНФ, - (год публикации - )


Аннотация результатов, полученных в 2023 году
В рамках разрабатываемой вычислительно-технологической платформы (ВТП) расширен блок научно-методического численного аппарата (НМЧА): 1. Создана новая методика осуществления наиболее эффективным способом функционализации атомной структуры наноматериала различными наночастицами/атомами для снижения работы выхода электронов. 2. Для расчета работы выхода электронов блок НМЧА расширен методикой вычисления энергии электрона в вакууме, что позволяет физически корректно учесть и текстуру поверхности пленок, и функционализацию наночастицами/атомами. 3. Для расчета ВАХ структур с большим расстоянием катод-анод алгоритмизирован метод расчета тока в рамках формализма Ландауэра-Буттикера. 4. Разработаны методы расчета коэффициента прозрачности и построения анодных и сеточных ВАХ туннельного тока в резонансно-туннельных наноструктурах с расстоянием катод-анод порядка 10 нм. Результаты, полученные с помощью НМЧА 1. Установленные закономерности влияния на работу выхода наноматериала функционализации его наночастицами HfC, LaB6, BaO и атомами калия. – Для наночастиц HfC: на снижение работы выхода оказывают влияние два фактора – расстояние между графен/нанотрубными структурами в плёнке и концентрация наночастиц. В совокупности эти два фактора позволяют достичь снижения работы выхода более чем на 10%. – Для наночастиц LaB6: увеличение массовой доли LaB6 в графен/нанотрубной пленке от 1% до 47% приводит к снижению работы выхода на ~13% (1 эВ) по сравнению с чистым углеродным каркасом. При достижении массовой доли ~41% работа выхода более не уменьшается. – Для наночастиц ВаО: снижение работы выхода происходит на ~13% (на 0.6 эВ) при увеличении массовой доли ВаО до 20%. – Для атомов калия: снижение работы выхода на ~18% происходит при достижении массовой доли калия ~7%. 2. Рассчитаны семейства ВАХ для пленок, функционализированных указанными выше наночастицами. Обнаружено многократное увеличение тока при одном и том же напряжении. 3. В резонансно-туннельных наноструктурах с расстоянием катод-анод ~10 нм, включая функционализированные атомами калия пленки, коэффициент прозрачности барьера достигает увеличения в 17-20 раз при максимальной концентрации калия ~32%, что соответствует снижению работы выхода на 10-15%. При проникновении поля на глубину 1-2 нм снижается высота потенциального барьера, что может обеспечить плотность токов эмиссии до 10^11 А/м2. При этом максимальная степень нагрева катода составляет 1500 К на катоде и 900 К на аноде. При больших напряженностях электрического поля (при малых расстояниях катод-анод) возникают большие пондеромоторные силы – электростатические и флуктуационные (обусловленные силой Казимира), которые приводят к провисанию сетки. Применение алмазной подложки, к которой лазером приваривается сетка, предотвращает прогиб, т.к. кулоновская сила уменьшится в 5 раз. Результаты, полученные экспериментально 1. Изготовлены образцы функционализированных наноматериалов двух типов: 3D-сетки из вертикально ориентированного массива многостенных углеродных нанотрубок (МУНТ), функционализированные наночастицами LaB6, и 3D-сетки из одностенных углеродных нанотрубок (ОУНТ) и чешуек восстановленного оксида графена (вОГ), функционализированные наночастицами BaO. 2. Получены зависимости влияния лазерного воздействия на электрофизические свойства углеродных наноматериалов с различной степенью и типом функционализации. - Использование концентрации Ba(NO3)2 0.1 мг/мл в исходной дисперсии позволяет сформировать структуры углеродных наноматериалов с высоким содержанием оксида бария (отношение Ba/С составляет 0.09). Увеличение концентрации Ba(NO3)2 с 0.02 мг/мл до 0.1 мг/мл привело к минимальным изменением удельной электропроводности сформированных структур с 10.97 кСм/м до 9.46 кСм/м. - Функционализация вертикального массива МУНТ частицами LaB6 привела к увеличению удельной электропроводности в 5.19 раза по сравнению с исходным массивом МУНТ – до 3.37 кСм/м. 3. Проведены исследования методами электронной микроскопии, энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС) и Оже-электронной спектроскопии углеродных наноматериалов на основе 3D-сеток из ОУНТ и графеновых чешуек с различной степенью функционализации методами жидкофазной обработки и физического вакуумного нанесения материалов с низкой работой выхода. - В исходных массивах МУНТ верхние концы нанотрубок были направлены хаотично и имели разную длину. В результате лазерного воздействия с плотностью энергии 0.15 Дж/см2 был достигнут эффект вертикального структурирования и сваривания верхних концов нанотрубок в 3D-сетки. Наночастицы LaB6 покрывали поверхности нанотрубок. - Методами ЭДС и Оже-электронной спектроскопии был исследован элементный состав поверхности массивов МУНТ после осаждения наночастиц LaB6 и лазерного воздействия. Подтверждена функционализация МУНТ частицами LaB6 после лазерного воздействия. - Поверхность исходной пленки из ОУНТ/Ba(NO3)2 и буферного слоя из чешуек вОГ была однородна, имела равномерно распределенные возвышенности. В результате импульсного лазерного воздействия с плотностью энергии 0.22 Дж/см2 был получен эффект вертикального ориентирования ОУНТ под углом к подложке. Поверхность нанотрубок была покрыта слоем мелких частиц BaO, образованных в результате распада Ba(NO3)2 при высоких температурах. - Наличие BaO в образце функционализированного гибридного наноматериала на основе ОУНТ и вОГ было подтверждено методом ЭДС. 4. Измерены эмиссионные ВАХ экспериментальных образцов наноматериала до и после функционализации. - Функционализация вертикального массива МУНТ наночастицами LaB6 позволила увеличить максимальный эмиссионный ток из гибридного наноматериала в 1,6 раза до 36 мкА. - Функционализация пленки на основе ОУНТ и буферного слоя из чешуек вОГ наночастицами BaO позволила увеличить максимальный эмиссионный ток из гибридного наноматериала в 42 раза до 500 мкА. 5. Установлено влияние степени и типа функционализации на основные эмиссионные параметры изготовленных образцов. Максимальная плотность эмиссионного тока образца на основе 3D-сеток из вертикально ориентированных МУНТ, функционализированных частицами LaB6 составила 0,37 А/см2. Максимальная плотность эмиссионного тока образца на основе 3D-сеток из ОУНТ и чешуек вОГ функционализированных частицами BaO составила 2,0 А/см2. Таким образом, функционализация 3D-сеток из углеродных наноматериалов частицами BaO привела к наиболее значительному улучшению эмиссионных параметров. 6. Продемонстрирована универсальность подхода визуализации графена на диэлектрической подложке путем использования такого универсального полимера как полиметилметакрилата, который широко применяется для графеновых технологий. Показано, что графен на полимере обладает низким контрастом в топографическом режиме, что объясняется общей шероховатостью как исходной медной подложки, так и полимера. При этом такие каналы как адгезионные и механические каналы обладают высоким контрастом для визуализации графена. Тем не менее, полученные образцы оказались неподходящими для непосредственного изучения таких фундаментальных величин как работа адгезии и т.п.; настоящие работы будут продолжены в будущем. В то же время с помощью ТГц спектроскопии была изучена перколяция островов кристаллитов графена а свободно-стоящих пленках парилена. Обнаружено не только сигмоидное повышение проводимости, которое характерно для перколяционных структур, но и постепенное изменение фазового сдвига и пика частотной зависимости.

 

Публикации

1. Глухова О.Е., Слепченков М.М. Влияние наночастиц карбида гафния на эмиссионные свойства квази-2D-графен/нанотрубной пленки: исследование из первых принципов Физика твердого тела, Т. 65, Вып. 8, С. 1408-1414 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.21883/FTT.2023.08.56163.121

2. Глухова О.Е., Слепченков М.М. Effect of LaB6 nanoparticles on the electronic and emission properties of single-walled carbon nanotubes/graphene hybrid 1D Nanomaterial Letters on Materials, Vol. 13. Iss. 3. P. 312-316 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.22226/2410-3535-2023-4-312-316

3. Глухова О.Е., Слепченков М.М., Кицюк Е.П., Шаман Ю.П., Герасименко А.Ю. Функционализация наночастицами BaO графен-нанотрубных наноструктур для устройств с полевой электронной эмиссией Нано- и микросистемная техника, Том 25, № 6, стр. 266–274 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.17587/nmst.25.266-274

4. Давидович М.В. Термополевая эмиссия в наноструктурах с резонансным туннелированием Журнал технической физики, - (год публикации - 2024)

5. Давидович М.В., Нефедов И.С., Глухова О.Е., Слепченков М.М., Руби Дж.М. Field emission in vacuum resonant tunneling heterostructures with high current densities Scientific Reports, Vol. 13, P. 19365 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.1038/s41598-023-44900-2

6. Заманский К.К., Осипова А.А., Федоров Ф.С., Копылова Д.С., Шунаев В.В., Алексеева А.А., Глухова О.Е., Насибулин А.Г. Sensitivity enhancement of SWCNT gas sensors by nitrogen plasma treatment Applied Surface Science, Vol. 640, P. 158334 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158334

7. Куксин А.В., Герасименко А.Ю., Шаман Ю.П., Шаманаев А.А., Сыса А.В., Глухова О.Е. Влияние функционализации на электрофизические свойства лазерно-структурированных гибридных углеродных наноматериалов Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика, - (год публикации - 2023)

8. Слепченков М.М., Герасименко А.Ю., Куксин А.В., Шаман Ю.П., Шаманаев А.А., Сыса А.В., Лебедев Е.А., Еганова Е.М., Горячев А.В., Павлов А.А., Глухова О.Е. Electrophysical properties of laser-structured carbon nanomaterials functionalized with LaB6 nanoparticles Diamond and Related Materials, Vol. 140, P. 110512 (год публикации - 2023) https://doi.org/10.1016/j.diamond.2023.110512

9. Глухова О.Е., Давидович М.В., Слепченков М.М. Программа для расчета коэффициентов отражения и прозрачности одноямной двухбарьерной и двухъямной трехбарьерной резонансно-туннельных структур методом трансформации волнового импеданса -, - (год публикации - )

10. Глухова О.Е., Давидович М.В., Слепченков М.М. Программа для расчета плотности тока холодной полевой эмиссии одноямной двухбарьерной и двухъямной трехбарьерной резонансно-туннельных структур методом матриц переноса -, - (год публикации - )

11. Глухова О.Е., Колосов Д.А. Программа для автоматизированного заполнения атомами и кластерами нанополостей 2D и 3D суперъячеек наноструктур -, - (год публикации - )

12. Глухова О.Е., Слепченков М.М. Программа для расчёта вольт-амперных характеристик функционализированных наноматериалов -, - (год публикации - )

13. Куксин А.В., Герасименко А.Ю., Шаман Ю.П., Кицюк Е.П., Глухова О.Е. Способ формирования эмитирующей поверхности автоэмиссионных катодов -, RU 2800233 C1 (год публикации - )


Возможность практического использования результатов
Полученные в рамках реализации проекта образцы нового наноматериала – 3D-сеток на основе УНТ и графена в виде плёнок на Si-подложках – будут перспективны для использования в качестве полевых эмиттеров автоэмиссионных катодов предприятиями электронной промышленности РФ, входящими в состав холдинга "Росэлектроника", в том числе предприятиями оборонно-промышленного комплекса. Использование автоэмиссионных катодов с полевыми эмиттерами, изготовленными из нового углеродного наноматериала, в электронно-оптической системе устройств электровакуумных приборов позволит повысить их КПД, надежность и долговечность. Тем самым, появится дополнительная возможность упрочить лидирующие позиции РФ в области радиоэлектроники для космической связи, навигации, радиолокации и специального назначения.