Новости

12 июля, 2022 14:42

Российские ученые создали перспективные катализаторы для микроэлектроники

Источник: Naked Science
Разработка ученых НИИ химии Университета Лобачевского, Института металлорганической химии РАН имени Г. А. Разуваева, Российского химико-технологического университета (РХТУ) имени Д. И. Менделеева позволяет создавать высокоэффективные катализаторы для синтеза ключевого компонента современной микроэлектроники — моносилана — предшественника полупроводникового «электронного» кремния.
Источник: Pixabay

Пористые сорбенты на основе диоксида кремния российские химики впервые получили методом прямого, непрерывного и высокопроизводительного синтеза — индукционной потоковой левитации. Индукционная левитация кремния достигалась путем двухступенчатого нагрева: на первой ступени увеличивалась проводимость кремния, затем он переводился в состояние левитации и расплава в противоточном индукторе.

Двуступенчатый нагрев кремния. Источник: пресс-служба ННГУ

«Разработка позволяет создавать поток атомарного пара из объемного образца кремния, с последующей конденсацией и окислением в атмосфере кислорода, и образованием наночастиц. На основе полученного диоксида кремния удалось получить катализаторы с высокой каталитической активностью в реакции диспропорционирования трихлорсилана, в результате которой образуется моносилан, а далее поли- и монокристаллический кремний — высокочистые и дорогостоящие компоненты современной микроэлектроники», — сообщил один из авторов проекта, заведующий лабораторией инженерной химии НИИ химии ННГУ имени Н. И. Лобачевского Андрей Воротынцев.

Разработанный метод позволяет получать наносферический и наноструктурированный диоксид кремния (кремнезем) производительностью до 100 г/ч в непрерывном бесконтактном режиме, значительно превосходя ранее известные способы синтеза кремнеземов. Такие типы кремнеземов — перспективный носитель активных центров катализаторов с высокой удельной площадью поверхности и возможностью придания им формы для применения в промышленных процессах.

Полученные в левитации наносферические частицы кремния. Источник: пресс-служба ННГУ


Статья с результатами исследования опубликована в журнале Materials Today Chemistry. Разработка проводилась в рамках гранта Российского научного фонда (РФН), финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации в рамках научного проекта «Лаборатория ионных материалов», а также Программы стратегического академического лидерства «Приоритет 2030» ННГУ имени Н. И. Лобачевского. 
26 апреля, 2024
Создан алгоритм для безопасного разворачивания радиорефлекторов зондов
Российские исследователи разработали программный пакет, позволяющий максимально безопасным образом...
19 апреля, 2024
Новая защита для промышленных и медицинских изделий
Ученые Тольяттинского государственного университета (ТГУ) вывели на качественно новый уровень техн...